このソフトはフォトマスク用DFMブラウザHOTSCOPEの機能を拡張し、このブラウザ上で指定した検査箇所をSEMI Standard(SEMI規格)のSEMI P10に準拠したレシピファイルとして生成します。
これにより、検査装置若しくは検査準備システム側においてSEMI P10規格に準拠したファイルを解釈できるようにすれば、検査を含めその後の工程の自動化、高速化と検査コストの低減に役立ちます。
今後のリリースとして欠陥検査用レシピファイル作成機能 “MRM-DF”の開発を計画していると共に、これらのソフトで生成したレシピファイルを、当社で開発中の多機能フォトマスク検査装置でハンドリングできるようにして参ります。
この開発は平成２２年度経済産業省・戦略的基盤技術高度化支援事業による委託事業の一環として行いました。

CD検査用フォトマスク検査レシピファイル生成ソフト

特徴

• HOTSCOPEをベースに各種検査仕様を設定する機能を拡張（第１段はCD測定）
• CD測定ポイントはXY方向に任意の場所を設定可能
• コンタクト・ホールの大きさ測定の設定可能（XY方向）
• アライメントポイント、スタートポイントのイメージ画像を保存し転送できます。
• 生成する検査レシピファイルはSEMI　P10フォーマットに準拠。